Вакуумные шаговые двигатели должны использоваться в приложениях, требующих точного управления движением в условиях вакуума или низкого давления, где стандартные шаговые двигатели не могут работать надежно:
Среды, требующие вакуумных шаговых двигателей.
1. Низкая производительность по выделению газов.
Вакуумные шаговые двигатели производятся с использованием материалов с низким выделением газов и специальных процессов очистки, чтобы предотвратить выделение газа в вакуумной среде, обеспечивая чистоту вакуумной камеры.
2. Смазка, совместимая с вакуумом.
В них используются смазки, рассчитанные на вакуум, или твердые смазочные материалы, которые не испаряются и не разлагаются под низким давлением, обеспечивая надежный и длительный срок службы.
3. Стабильная работа в вакууме.
Вакуумные шаговые двигатели, разработанные для эффективной работы без конвекции воздуха, имеют оптимизированные обмотки и конструкции для отвода тепла посредством кондуктивного охлаждения.
4.Научно-исследовательское и лабораторное оборудование. Ускорители частиц, электронные микроскопы и системы вакуумной спектроскопии требуют стабильного управления движением с низким уровнем вибрации и отсутствия загрязнений.
5. Системы вакуумного нанесения покрытий и тонкопленочного осаждения. Такие процессы, как PVD, CVD и напыление, зависят от условий вакуума. Вакуумные серводвигатели с высокой точностью приводят в движение подложку, линейные этапы и роботизированные манипуляторы.
6. Медицинские и фармацевтические вакуумные системы. Некоторые устройства для стерилизации, визуализации и анализа работают в условиях контролируемого вакуума, требуя чистого и точного управления двигателем.
7. Высококлассная вакуумная автоматизация и робототехника. Роботизированные манипуляторы и системы транспортировки, совместимые с вакуумом, требуют быстрого реагирования, плавного движения и точного управления без ущерба для качества вакуума.